激光剝蝕對于確定樣品表面的污染物、執行涂層分析、了解薄膜結構以及識別位于其下方的夾雜物是一項非常有價值的功能，并可觀察從樣品中收集到的一組LIBS光譜和質譜之間的差異，通過參考標準濃度值直接賦值給LIBS或ICP-MS強度，單變量校準曲線可輕松生成，可以用于標準定量分析的高級校準模型，LIBS光譜和質譜可以形成光譜庫的基礎，使用起來非常的簡單方便，而且還比較經濟實用。
激光剝蝕設備特點：
1、緊湊型微集氣管設計，以消除脫氣和記憶效應；
2、高硬度Q開關，短脈沖Nd:YAG激光器波長低至213nm；
3、可將LIBS強度和時間分辨的ICP-MS信號轉換為選定元素的非常詳細的2D/3D圖；
4、質譜或兩個光譜對各種樣品(包括玻璃、油漆、油墨、塑料、地質礦物等)進行分類或鑒別的理想方法；
5、多功能取樣方法：全分析、微區&夾雜物分析，深度分析和元素成像；
6、雙路高精度數字質量流量控制器和電子控制閥門，硬件部件的全面控制與測量自動化；
7、應用光譜Flex樣品室帶有可互換鑲嵌模塊，以優化運輸氣體流量和顆粒沖刷性能；
8、時間分辨ICP-MS信號也可以非常流暢，并且可以輕而易舉地獲得TRSD（時間相對標準偏差）統計學數值；
9、分析人員可監測多次激光脈沖采樣期間LIBS的強度或不同分析物比例的統計數據；
10、雙攝像機，一個于高倍成像，另一個用于樣品表面的廣角觀察。
激光剝蝕能夠快速而準確地識別復雜的LIBS發射峰，有助于分析人員有效地處理LIBS峰值并獲得定量結果，從而大大縮短數據分析時間，時間分辨ICP-MS信號也可以非常流暢，并且可以輕而易舉地獲得TRSD（時間相對標準偏差）統計學數值，能瞬時監測所選元素的LIBS發射峰值強度，揭示不同樣品深度處元素組成的變化，該軟件使分析人員能夠將整個周期表中的所有元素從ppb到%的濃度范圍可視化。
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